激光全息模压机的组成配件介绍
作者:商标模切机 发布于:03-08
激光全息模压机的组成配件是什么?该款利用激光全息技术研发出来的一种新型光刻机设备,评级其优异的性能,受到了用户的一致好评,下面就来对其做个全面的了解。
激光全息模压机由单片机系统通过主机上控制面板进行操作,其灯源多采用200W交流高压汞灯,曝光系统采用积木错位蝇眼透镜实现均匀照明和平滑衍射效应。掩模面的******照度可达10mW/cm2,照度可通过曝光系统内部的可变光栏进行调节。 对准采用双目双视场对准显微镜,对准显微镜的有三对目镜和三对物镜可以互换,组合后******倍数为375倍,对准物镜轴距可在20mm-63mm之间变化。
在目镜中可单独观察到一个视场的像,也可同时观测到两个视场的像,此外工件台可带动掩模样片一起作X、Y整体运动,也可X、Y整体运动锁紧,从而使其操作起来更加的灵活,为用户的使用带来便利。