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光刻机是干什么用的?其工作原理是怎么样的
作者:激光模切机 发布于:03-08
光刻机是干什么用的?光刻机工作原理是怎么样的?如果你想详细了解光刻机是如何工作的话,请详细看下面的介绍,小编会为你做详细解答。
光刻机原理

一般来说是用激光。比如说要在玻璃上刻蚀图形,大致步骤为:清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蚀剂(即光刻胶有正性和负性之分)、干燥(固化)、曝光(方式很多,如激光直写、通过掩模板同时曝光等)、去胶(光刻胶曝光后性质发生光化学变化,去胶的方法也很多,如放在刻蚀剂中,用正性胶的话,被光照到的地方就会被溶解,没有光照到的地方光刻胶保留下来,到这里就已经在光刻胶上刻蚀出了所需图形)、清洗、转移(方法更多,如离子束轰击,光刻胶和玻璃同时被轰击,光刻胶被轰击完后,暴露出来的玻璃也被轰击,就把光刻胶上的图形转移到玻璃上)。实际上,光刻的方法和具体步骤相当复杂,对环境要求也非常高。
 
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